Και οι δύοΑντλία κενού και συμπιεστήςείναι συσκευές για την επεξεργασία του αερίου, αλλά οι αρχές λειτουργίας τους και το εύρος εφαρμογής είναι διαφορετικές.
Η κύρια λειτουργία της αντλίας κενού είναι η απομάκρυνση του αερίου από το θάλαμο αντίδρασης για να μειωθεί η πίεση στο δοχείο για να επιτευχθεί προκαθορισμένος βαθμός κενού. Το αέριο εξάγεται από το χώρο μέσω του μηχανισμού αναρρόφησης και εξάτμισης για να σχηματίσει κατάσταση κενού. Οι αντλίες κενού χρησιμοποιούνται συνήθως σε εργαστήρια, πεδία παραγωγής και παραγωγής. Σε πλακίδια, εξοπλισμό χάραξης, εξοπλισμό εναπόθεσης, εξοπλισμό λιθογραφίας EUV, εξοπλισμό εμφύτευσης ιόντων, εξοπλισμός ανίχνευσης και χαρακτηρισμού κλπ. Όλα πρέπει να είναι κενά.
Η λειτουργία του συμπιεστή είναι η εισπνοή αερίου και η συμπίεση του, η αύξηση της πίεσης του αερίου, η συμπίεση του αερίου σε μικρότερο όγκο και η αύξηση της πυκνότητας και της πίεσης του αερίου. Η αρχή λειτουργίας του είναι να συμπιέσει το αέριο μέσω της βαλβίδας εξάτμισης και στη συνέχεια να βάλει το συμπιεσμένο αέριο σε δεξαμενή αερίου ή άλλο εξοπλισμό. Οι συμπιεστές χρησιμοποιούνται συνήθως στην επεξεργασία και την παραγωγή πεδίων. Το αέριο CDA που μιλάμε συχνά παρέχεται από τον συμπιεστή. Το CDA χρησιμοποιείται για τον έλεγχο διαφόρων εξοπλισμού και βαλβίδων αυτοματισμού. Για την κατασκευή ημιαγωγών, το CDA πρέπει να είναι πολύ καθαρό και ξηρό. Η έξοδος αέρα από τον συμπιεστή πρέπει να περάσει από ένα εξελιγμένο σύστημα διήθησης για την απομάκρυνση του πετρελαίου, της υγρασίας και άλλων σωματιδίων για να εξασφαλίσει ότι δεν υπάρχει μόλυνση του δίσκου.
Ποιες είναι οι κατηγορίες τουΑντλία κενού και συμπιεστής?
Σε εξοπλισμό ημιαγωγών χρησιμοποιούνται συνήθως οι ξηρές αντλίες και οι μοριακές αντλίες. Μια ξηρή αντλία αναφέρεται σε μια αντλία κενού που δεν χρησιμοποιεί υγρό ως μέσο σφράγισης ή ψύξης, αποφεύγοντας το πρόβλημα της μόλυνσης των ατμών του πετρελαίου. Χρησιμοποιείται γενικά για την ακατέργαστη εξαγωγή κενού εξοπλισμού ημιαγωγών. Οι μοριακές αντλίες μπορούν να επιτύχουν εξαιρετικά υψηλά επίπεδα κενού. Οι ξηρές αντλίες και οι μοριακές αντλίες χρησιμοποιούνται συχνά σε συνδυασμό σε εξοπλισμό ημιαγωγών για να καλύψουν τις ανάγκες διαφορετικών επιπέδων κενού.
Οι συμπιεστές μπορούν να χωριστούν σε έμβολο, βίδα, φυγόκεντρο, συμπιεστές αέρα περιστροφικών πτερυγίων κ.λπ.
Λόγω των διαφορετικών σχεδίων και των αρχών λειτουργίας της αντλίας κενού και του συμπιεστή, οι αντλίες κενού δεν μπορούν συνήθως να αντικαταστήσουν τους συμπιεστές. Παρόλο που οι αντλίες κενού μπορούν να μειώσουν την πίεση και την πυκνότητα των αερίων, δεν μπορούν να συμπιέσουν τα αέρια σε μικρότερους όγκους και υψηλότερες πιέσεις. Επιπλέον, λόγω της περιορισμένης απόδοσης και των χαρακτηριστικών λειτουργίας των αντλιών κενού, είναι καλύτερα κατάλληλα για το χειρισμό αερίων χαμηλής πυκνότητας και περιβάλλοντα χαμηλής πίεσης.
Επομένως, εάν το αέριο πρέπει να συμπιεστεί σε μικρότερο όγκο και υψηλότερη πίεση, πρέπει να χρησιμοποιηθεί ένας συμπιεστής. Αντίθετα, εάν πρέπει να εξαχθεί το αέριο και να σχηματιστεί μια κατάσταση κενού, θα πρέπει να χρησιμοποιείται μια αντλία κενού.
Αν και και τα δύοΑντλία κενού και συμπιεστήςείναι συσκευές που χρησιμοποιούνται για την επεξεργασία αερίου, υπάρχουν μεγάλες διαφορές στην αρχή του σχεδιασμού και της λειτουργίας. Αν και η αντλία κενού μπορεί να μειώσει την πίεση και την πυκνότητα του αερίου, δεν μπορεί να αντικαταστήσει τον συμπιεστή, ειδικά όταν το αέριο πρέπει να συμπιεστεί σε μικρότερο όγκο και υψηλότερη πίεση.
